Industrija polprevodnikov zahteva izjemno visoko čistočo, odpornost proti koroziji in stabilnost sestavnih materialov, keramične strukturne komponente popolnoma izpolnjujejo te zahteve, zaradi česar so ključna komponenta polprevodniške opreme.
Med proizvodnjo rezin je notranje okolje opreme pogosto izpostavljeno visokim temperaturam, visokemu vakuumu in močni koroziji. Tradicionalni kovinski materiali zlahka korodirajo ali sproščajo nečistoče, medtem ko imajo keramične strukturne komponente odlično kemično stabilnost in lastnosti nizkega odvajanja delcev, kar učinkovito zagotavlja čisto proizvodno okolje.
Običajni polprevodniški keramični deli vključujejo keramične vpenjalne glave, keramične grelnike, izolacijske obroče, šobe in vodilne komponente. Med temi elektrostatične vpenjalne glave izkoriščajo odlične izolacijske lastnosti keramičnih materialov za pritrjevanje rezin in so ena osrednjih komponent polprevodniške opreme.
Ker procesi izdelave čipov še naprej napredujejo na višje ravni, postajajo zahteve glede natančnosti opreme vse strožje. Napredni keramični materiali bodo s svojo dimenzijsko stabilnostjo in odpornostjo na plazemsko korozijo igrali še pomembnejšo vlogo v prihodnji industriji polprevodnikov.